HALEX^® ist ein neuartiger Trockenbettreaktor, der es ermöglicht, auch annähernd inerte Gase, wie CF₄ oder SF₆ vollständig abzubauen. Bei diesem Verfahren kommt es zu keinerlei Verbrennungsvorgängen, weshalb die Entstehung von NO_x-Gasen, Dioxinen oder anderer umweltschädlicher Verbindungen ausgeschlossen werden kann. Weiterhin gibt es für den Betreiber keine Entsorgungsschwierigkeiten, da die verbrauchten Kartuschen vom Hersteller zurückgenommen werden. Eine nachgeschaltete Neutralisation entfällt. Es entstehen keine Abwässer und folglich keine Entsorgungskosten. Somit eignet sich dieses System besonders zur Abreinigung von Ätzgasen, die zum größten Teil Halogen-Kohlenstoff oder Halogen-Schwefel Verbindungen aufweisen und hauptsächlich in  der Halbleiterindustrie anfallen. Bei dem Abreinigungsprozess resultieren zum größten Teil Fluoride, Chloride und Kohlenstoff, die problemlos entsorgt oder sogar weiterverwendet werden können.

Die Reinigung der Abgase erfolgt entweder einstufig, oder mit einer nachgeschalteten Abgaskühlung  mittels eines Kreuzwärmetauschers.

Vorteile der Anwendung von HALEX^®:

• Sie arbeitet bei geringen Temperaturen
• Halogenierte Verbindungen werden vollständig mineralisiert
• Geringe Investitionskosten
• Preisgünstige Reagenzien
• Keine Entstehung von Dioxinen und Furanen
• Keine Entstehung von gefährlichen gasförmigen Produkten

Reaktionsbeschreibung

Das Abgas der CVD-Anlage (unverbrauchte Reaktionskomponenten, Zwischenprodukte, feste und gasförmige Reaktionsprodukte) wird der Reaktionskartusche zugeführt.

Bei der eigentlichen Reaktion der Gaskomponenten mit HALEX^® in der Kartusche werden die reaktionsfähigen Bestandteile des Gases durch das vorliegende Natrium reduziert. Dabei wird z.B. CF₄ folgendermaßen in seine Bestandteile zerlegt:

D.h., es resultieren ausschließlich Kohlenstoff und Natriumfluorid, die keinerlei umweltrelevanten Gesichtspunkte aufweisen und problemlos entsorgt werden können. Das entstandene Natriumfluorid ermöglicht sogar eine Weiterverwendung in der aluminiumverarbeitenden Industrie.